當前標簽：深圳單臂晶圓機器人
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產品名稱：RWS單臂晶圓機器人特征：軟硬件筆直整合優勢，并且采用高精密，高剛性直驅馬達，重復精度達±0.1mm，回轉半徑小，空間使用率高。應用：適用于半導體工業(晶圓取放)、光電工業(小型面板、小型太陽能板)、LED工業(藍寶石基板、膠環
