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產品名稱:RWD雙臂晶圓機器人特征:軟硬件垂直整合優勢,而且選用高精密,高剛性直驅馬達,重復精度達±0.1mm,回轉半徑小,空間使用率高。應用:適用于半導體工業(晶圓取放)、光電工業(小型面板、小型太陽能板)、LED工業(藍寶石基板、膠環